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由于微机电领域中超声波电机得到越来越的关注，其伺服控制技术的研究也越来越广泛。笔者首先对超声波电机进行电学分析。之后分析了超声电机3种控制变量，研究其控制特点及他们与控制目标的关系。指出结合调频调相调幅等多种控制方式，综合多种先进控制策略的优点，实现超声电机的速度、位置、能量转换效率和电机寿命等多目标优化控制，将是超声电机伺服控制的发展方向。之后分析了目前超声电机控制系统常见的三种控制器，指出用DSP为核心的控制器将是其控制系统的首选。