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【摘 要】
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The hydrophobic films of TixOy-CmHn deposited from mixture gases of titanium isopropoxide (TTIP) and oxygen by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD)
【机 构】
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CollegeofMaterialScienceandEngineering,CollegeofScience
【出 处】
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东华大学学报：英文版
【发表日期】
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2012年3期
【基金项目】
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Foundation items： National Natural Science Foundations of China （No. 10835004, No. 10775031 ）, Science and Technology Commission of Shanghai Municipality, China （ No.10XD1400100）
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