Ti含量对FePt／Tix（FePt）100-x薄膜微结构和磁特性的影响

• 作 者: 张玉杰 赵建国 孙会元 于红云 封顺珍
• 机 构: 河北师范大学物理科学与信息工程学院,河北省教育考试院社会考试处
• 出 处: 河北师范大学学报
• 发表日期: 2006年5期
• 关键词: 对靶磁控溅射 磁记录介质 FePt薄膜 有序L10织构 矫顽力 facing-target magnetron sputtering system magne

应用直流对靶磁控溅射法在玻璃基片上沉积了FePt/Tix（FePt）100-x薄膜，并在真空中进行原位退火．研究表明，衬底层Ti含量对FePt／Tix（FePt）100-x薄膜的微结构和磁特性影响很大．在退火温度为550℃，衬底层中的Ti含量为78％条件下，FePt形成了高度有序的L10织构，表面颗粒尺寸分布均匀，粒径减小到11nm，矫顽力达到最大．