【摘 要】
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聚四氟乙烯结构氟碳聚合物（Polytetrafluoroethylene-like fluorocarbon，PIFE-like FC）薄膜具有超低介电常数、高疏水性和生物相容性等优点．综述了国外制备PIFE-like FC薄膜的实
【机 构】
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大连交通大学机械工程学院,大连民族学院光电子技术研究所
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聚四氟乙烯结构氟碳聚合物（Polytetrafluoroethylene-like fluorocarbon，PIFE-like FC）薄膜具有超低介电常数、高疏水性和生物相容性等优点．综述了国外制备PIFE-like FC薄膜的实验进展，分析了PTFE—like FC薄膜可能的沉积机理，指出热丝化学气相沉积（HFCVD）和射频等离子体辅助的化学气相沉积（rf—PECVD）这2种方法更有利于减少离子对薄膜表面的轰击作用，被认为是目前沉积PIFE-like FC薄膜最好的2种方法．介绍了利用介质阻挡放电（D
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