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铟锡氧化物（ITO）靶材的用途广泛，研究制备铟锡氧化物靶材具有长远的战略意义。文章概述了铟锡氧化物靶材的用途和研制现状，并对铟锡氧化物靶材的应用前景进行展望。
铟锡氧化物靶材的研究探索
【摘 要】
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铟锡氧化物（ITO）靶材的用途广泛，研究制备铟锡氧化物靶材具有长远的战略意义。文章概述了铟锡氧化物靶材的用途和研制现状，并对铟锡氧化物靶材的应用前景进行展望。
【机 构】
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广西德邦科技有限公司
【出 处】
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企业科技与发展
【发表日期】
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2004年期
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