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提出了一种适合于批量制备SOA减反膜的实时监控技术.监控系统简单,操作方便,可以应用于国产镀膜机.由此技术批量制备SOA,腔面剩余反射均接近10-4.
一种适合于大量制备行波SOA增透膜新技术
【摘 要】
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提出了一种适合于批量制备SOA减反膜的实时监控技术.监控系统简单,操作方便,可以应用于国产镀膜机.由此技术批量制备SOA,腔面剩余反射均接近10-4.
【机 构】
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深圳大学,华中科技大学
【出 处】
：
激光技术
【发表日期】
：
2004年5期
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