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用亚磷酸热分解法制备的磷烷，经分级冷冻、真空蒸馏后，除去H2、N2、O2、CH4及大部分H2O等杂质，然后进一步用A型分子筛及高效干燥剂吸附干燥，障去微量水及碳氢化合物，从而获得电子级高纯磷烷。
高纯磷烷的研制
【摘 要】
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用亚磷酸热分解法制备的磷烷，经分级冷冻、真空蒸馏后，除去H2、N2、O2、CH4及大部分H2O等杂质，然后进一步用A型分子筛及高效干燥剂吸附干燥，障去微量水及碳氢化合物，从而获得电子
【机 构】
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化工部光明化工研究所
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1986年2期
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