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介绍了一种新的等离子体离子注入在不锈钢表面改性上的应用。将高压脉冲和射频脉冲直接耦合到工件上，不需外部等离子体源，利用工件自身加射频产生等离子体，随后施加高压对不锈钢表面进行了注氮处理。XPS分析显示，在基体表面有氮元素存在，说明实现了射频与高压直接耦合的离子注入效果。进一步研究表明，等离子体离子注入后，在不锈钢基体表层形成了Cr2O3以及CrN，FeN等硬质相，因此处理后的试件耐摩擦、磨损和耐腐蚀性能得到了较大提高。同时研究显示，射频脉冲宽度或射频与高压相位的改变对摩擦系数影响不大。