ZLZ-200型中束流离子注入机在京通过技术鉴定

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一九八○年,原第一机械工业部仪器仪表工业局下达任务,由机械工业部北京机械工业自动化研究所与北京仪器厂共同研制200仟伏中束流离子注入机。经过五年的努力,于一九八五年研制成功。为此,机械工业部仪器仪表工业局主持,于一九八五年十二月十九日到十二月二十日,在北京召开ZLZ- In 1980, the former Bureau of Instrumentation and Instrumentation of the First Ministry of Machinery Industry issued a mandate to jointly develop a 200 kV in-beam ion implanter by the Beijing Machinery Industry Automation Research Institute of the Ministry of Machinery Industry and Beijing Instrument Factory. After five years of hard work, it was successfully developed in 1985. To this end, the Ministry of Machinery Industry Instrumentation Industry Bureau presided over, from December 19, 1985 to December 20, held in Beijing ZLZ-
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