GMR读磁头用面内取向CoCrPt永磁薄膜的结构与性能

• 作 者: 李松田 刘曦 史文魁 曹江伟 魏福林
• 机 构: 兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室磁性材料研究所
• 出 处: 磁性材料及器件
• 发表日期: 2008年5期
• 关键词: CoCrPt薄膜 织构 磁性能 CoCrPt thin film texture magnetic properties

用磁控溅射的方法在Cr1-xWx衬底上制备了GMR读磁头中用来提供水平偏置磁场的易轴水平取向的CoCrPt合金薄膜。研究了Cr1-xWx衬底（200）织构与W含量之间的关系，沉积在CrW衬底上的CoCrPt合金薄膜微结构及磁性能，以及CoCr中间层的添加对CoCrPt合金薄膜生长出面内取向的（1120）织构的影响及磁性能的影响。实验结果表明，CoCr中间层的引入对CoCrPt合金薄膜易磁化轴的面内取向起到了十分关键的作用。