【摘 要】
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为了提高永磁薄膜阵列的剩磁和最大磁能积，在电镀制备CoNiMnP永磁薄膜阵列过程中引入少量稀土Nd原子替代部分Ni原子，采用光刻和电镀技术在5mm×5mm×0．2mm的硅片上设计
【基金项目】
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国防预研基金项目,,四川省稀土工程研究中心基金资助项目 ( 2 0 0 0J12 .3 .2DZ0 2 19)
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为了提高永磁薄膜阵列的剩磁和最大磁能积，在电镀制备CoNiMnP永磁薄膜阵列过程中引入少量稀土Nd原子替代部分Ni原子，采用光刻和电镀技术在5mm×5mm×0．2mm的硅片上设计并制备了2000个大小为50μm×50μm的CoNil-xNdxMnP垂直各向异性永磁薄膜阵列。并对该薄膜陈列的组成、磁性能等进行了分析与测试。结果表明：薄膜阵列的组成为(质量分数)：Nd1．90％，Co86．62％，Ni5．68％，Mn2．06％，P3．74％；阵列垂直方向磁性能为：Hc=59．7k
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