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【摘 要】
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介绍了在激光薄膜中End Hall型离子源离子束清洗的应用。通过实验验证了基片的二次污染和离子束的清洗效果,观测了离子束清洗前后基片的表面形貌变化。研究了用离子束清洗基
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800中国科学院研究生院北京 100864; 上海 201800中国科学院研究生院北京 10086
【出 处】
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光学技术
【发表日期】
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2005年02期
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