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应用高纯氮携带液氧蒸气作为氧源的热氧化技术和ＳｉＨ４－ＮＨ３体系ＬＰＣＶＤ技术，制作对辐照吸收有明显响应的ＭＮＯＳ器件，在１０＾３～１０＾５Ｇｙｓ剂量范围内其平带电压江西省多值随辐照剂量的增加按指数规律衰减。样品接受辐照是非破坏性的，在接受５×１０＾５Ｇｙｓ的大剂量辐照后，通过简单的正负脉冲电压处理就可恢复到初始状态，并在接受新的辐照时以同样的规律给出响应，是一种可校准并可供辐照剂量探测重复使用的