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综述国内外多晶硅的生产工艺及尾气处理方法的研究进展，探讨生产多晶硅的常用6种工艺及其优缺点，重点阐述多晶硅尾气的分离回收技术、从开路控制到闭路控制的发展过程及闭路循环技术的优点。
多晶硅尾气处理与净化工艺研究进展
【摘 要】
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综述国内外多晶硅的生产工艺及尾气处理方法的研究进展，探讨生产多晶硅的常用6种工艺及其优缺点，重点阐述多晶硅尾气的分离回收技术、从开路控制到闭路控制的发展过程及闭路循
【机 构】
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北京化工大学机电工程学院
【出 处】
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氯碱工业
【发表日期】
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2010年9期
【基金项目】
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北京市大学生科技创新课题基金支持项目（北京化工大学：200807）
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