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谁能支持EUV光刻？回答只有极少数几家公司，因为设备的价格再次上升。VLSICEODanHutcheson回答，每台125亿美元。在报告中，一年之前VLSI的总裁RistoPuhakka曾预测，设备的价格未来要按pixel像素来计算，当时大家认为这是不可能的，但是现在EUV的价格己经几乎得到证实。