【摘 要】
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专利 蒸汽流控制机──日本专利,特许出愿公告,昭51-34313 本发明为了控制真空镀膜的厚度及成份而提高了蒸汽流测量规的精度和灵敏度。也就是在装设发射电子的环形灯丝(1),
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专利 蒸汽流控制机──日本专利,特许出愿公告,昭51-34313 本发明为了控制真空镀膜的厚度及成份而提高了蒸汽流测量规的精度和灵敏度。也就是在装设发射电子的环形灯丝(1),使其围绕在蒸汽流从蒸发源向蒸镀衬底进行蒸镀的有效区内的同时,为了固定上述区,还设置带电子集极(2)(2)
Patented steam flow control machine - Japanese Patent, Authorized Patent Publications, Sho 51-34313 The present invention improves the accuracy and sensitivity of the steam flow measuring gauge in order to control the thickness and composition of the vacuum coating. That is, a ring-shaped filament (1) emitting electrons is provided so as to surround the effective area where the steam is evaporated from the evaporation source to the vapor deposition substrate, and an electron collector 2) (2)
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