论文部分内容阅读
本文设计了一个控制温度的模糊专家系统,用在半导体微机械加工制作中,控制腐蚀装置的温度,在负载较重、加热功率较大的条件下,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求.与传统PID算法控制系统相比,本系统能够快速、长时间地稳定在设定的温度.
用于半导体微机械加工中温度控制的模糊专家系统
【摘 要】
：
本文设计了一个控制温度的模糊专家系统,用在半导体微机械加工制作中,控制腐蚀装置的温度,在负载较重、加热功率较大的条件下,能够有效地使其满足腐蚀工艺的温度要求.与传统P
【机 构】
：
南开大学信息学院微电子学系
【出 处】
：
传感技术学报
【发表日期】
：
2002年3期
其他文献
前不久，海南省气象局、海南天然橡胶产业集团股份有限公司等单位有关专家到建在红明农场的海南橡胶气象台，对信息服务系统项目进行验收。
作为声表面波(SAW)气体传感器的关键元件,SAW振荡器的频率稳定性直接影响到传感器的灵敏度和检测下限.因此,提高SAW振荡器的频率稳定度是传感器研究的关键.这里在ST石英基片
光纤SPR传感器是一种新型传感器,可在多个领域实现远距离实时在线监测.根据表面等离子体波的共振条件计算了光纤SPR传感器的关键参数--共振波长,并且给出在一定条件下传感器
对SU-8胶微结构的尺寸及其公差进行了定量研究．在考虑了SU-8的吸收系数和折射系数对紫外光刻尺寸精度影响的基础上，根据菲涅耳衍射理论建立了紫外曝光改进模型和尺寸公差模型，对
碳纳米管在微结构上的组装是实现纳器件的关键．本论文分别采用电泳和流体驱动方法对两种不同的多壁碳纳米管进行了排布组装研究．电泳过程中频率一定时，增加电压或电泳时间，碳管沉
2013年我国橡胶行业效益水平显著提高，重点企业利润大幅增长。2014年，预计橡胶行业主要经济指标将稳中有升。高附加值产品的增长是拉动效益提升的主要力量。这是记者从3月26日
本文通过DSC、热氧老化、红外光谱等手段分析研究了废印刷电路板非金属粉末（废PCB粉）对聚丙烯基木塑复合材料老化性能的影响。结果表明，废PCB粉中残留的金属对聚丙烯（PP）的老化具
高压氧是脑外伤康复治疗最重要的手段。高压氧治疗是将患者置于一个密闭、高压的环境中，吸入高浓度的氧气以治疗疾病的一种治疗方法。回顾性总结了205例脑外伤患者高压氧综合