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本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。
铜薄膜电阻温度传感器的研制
【摘 要】
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本文分析了铜膜电阻温度传感器的工作原理,介绍了光刻掩模板的图形设计和制造工艺,并对实验结果进行了讨论。
【机 构】
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华南师范大学,广东工学院
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1993年4期
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