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采用场离子显微镜原子探针实验技术可以观察研究材料内部原子尺度微观组织，但该方法对材料有破坏性，试样难以制备却经常损坏．本文介绍一种再制备场离子显微镜原子探针试样的微抛光技术．具体描述了这种技术的原理，操作方法与注意事项；同时还提供了实际仪器构型外观，以便读者应用．这种微抛光方法简单易行，不仅可用来再制备变钝或断裂了的试样，还可用来制备具有特殊初始几何形状、或满足特殊研究需要的试样．