电推进系统工质气体微流量校准装置的设计

来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jfhz2001
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通过实验和理论分析,结合电推进系统工质气体微流量的实际使用情况,提出了绝压定容升压法及差压定容升压法两种电推进系统工质气体微流量的校准方法,设计了电推进系统工质气体微流量校准装置,装置采用双通道对称结构,包括抽气系统、校准系统、容积测量系统、稳压系统、多工质气路转换系统、恒温及烘烤系统、数据采集系统等,校准范围为5×10^-5~5×10^-1Pa·m^3/s,入口压力为0.2~0.5MPa,出口压力为100Pa~0.2MPa,扩展不确定度小于2.0%(k=2),校准气体为Xe
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