【摘 要】
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采用单极脉冲反应磁控溅射,以C02作为单一气相碳源和氧源,通过控制反应气体流量,制备了碳掺杂钛氧(C:Ti-0)薄膜。通过原子力显微镜,拉曼光谱和X射线光电子能谱对薄膜的表面形
【机 构】
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海南大学材料与化工学院,陕西理工大学材料科学与工程学院,格罗宁根大学科学与工程学院先进制造工程
【基金项目】
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国家自然科学基金(51461015),海南省重点研发计划(ZDYF2016019)
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采用单极脉冲反应磁控溅射,以C02作为单一气相碳源和氧源,通过控制反应气体流量,制备了碳掺杂钛氧(C:Ti-0)薄膜。通过原子力显微镜,拉曼光谱和X射线光电子能谱对薄膜的表面形貌、结构和成分进行了表征,利用紫外可见-分光光度计得到了薄膜的透射光谱并用Tauc作图法计算薄膜的带隙宽度,用纳米力学系统测试了薄膜的力学性能。结果表明,随着C02流量的增大,沉积速率呈先增大后减小的趋势。制备的薄膜主要以金红石相存在,并存在少量锐钛矿相和TiO。C的掺入使得C:Ti-0薄膜的带隙宽度有不同程度的降低,薄膜硬度也有所
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