论文部分内容阅读
本文介绍了真空镀膜技术中电子束加热式蒸发源的结构、电子束加热原理、特点、优点和工作原理以及电子束加热源中电子枪坩埚的处理和电子枪冷却系统的供水问题。
真空镀膜技术中的电子束加热式蒸发源
【摘 要】
：
本文介绍了真空镀膜技术中电子束加热式蒸发源的结构、电子束加热原理、特点、优点和工作原理以及电子束加热源中电子枪坩埚的处理和电子枪冷却系统的供水问题。
【机 构】
：
重庆光电子技术研究所
【出 处】
：
四川真空
【发表日期】
：
1998年1期
其他文献
检测方案的确定是确保计量质量的关键。本文就常用几种真空计量计（规）在高空低气压环境模拟箱中真空检测技术作了全面分析。这几种常用真空测量计（规），其测量范围、测量精度和测量
分别用磁控溅射和电子束蒸发技术，在大功率ＡｌＧａＡ３－ＧａＡ３激光器条端面上，制作了ＳｉＯ２／Ｓｉ干涉镜和Ａｌ２Ｏ３减反射膜。讨论了Ｓｉ靶反应磁控溅射下，氧化硅层的沉积速率和影响镀层质量的因素。