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以传统的主元分析方法（Principal Component Analysis，PCA）为基础，利用负载矩阵构造S_PCA相似因子（PCA Similarity Factor）和改进的相似因子S_PCA^λ，通过衡量负载向量之间角度的大小对不同工况批次数据进行相似度比较，实现不同工况产品的分类．采用累计方差贡献率方法确定主元个数，将踮。应用到半导体间歇过程中进行数据分类．实验仿真结果表明：利用改进的相似因子S_PCA^λ对半导体多工况数据的分类具有显著效果．