【摘 要】
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美国ZYGO公司开发一种超小型、超高性能激光干涉测长系统“ZYGOA×10M~2/20CLADI”。该系统克服了激光测长仪易受环境影响的弱点,减小了测量误差,提高了精度。其主要特点是:
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美国ZYGO公司开发一种超小型、超高性能激光干涉测长系统“ZYGOA×10M~2/20CLADI”。该系统克服了激光测长仪易受环境影响的弱点,减小了测量误差,提高了精度。其主要特点是:①采用了新开发的光学系统;
The United States ZYGO company to develop an ultra-small, ultra-high performance laser interferometry length measuring system “ZYGOA × 10M ~ 2 / 20CLADI”. The system overcomes the vulnerability of the laser length measuring instrument vulnerable to the environment, reducing the measurement error and improve the accuracy. Its main features are: ① using a newly developed optical system;
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