【摘 要】
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上海勤奋半导体器件厂Φ50硅片生产线技改项目,于七月廿九日通过验收。该生产线采用了 LPCVD 氮化硅钝化、PECVD 氮化硅钝化、等离子刻蚀,电子束蒸发、后磨片、自动刷片等工
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上海勤奋半导体器件厂Φ50硅片生产线技改项目,于七月廿九日通过验收。该生产线采用了 LPCVD 氮化硅钝化、PECVD 氮化硅钝化、等离子刻蚀,电子束蒸发、后磨片、自动刷片等工艺,并且全部采用国产最新装备,净化车间的最高净化等级为100级。这些新工
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