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设计了一种由波纹管作为执行器件的高精密定位平台，并对系统存在的迟滞特性进行分析。采用可调的Sigmoid激励函数对神经网络的激励函数进行改进，基于改进的激励函数建立了神经网络迟滞逆模型，推导出了改进后网络的权值、阈值的修正公式，并在神经网络迟滞逆模型的基础上设计基于PID控制器的反馈控制。系统跟踪复频波的平均误差为0．978um，跟踪三角波的平均误差为0．755um。实验表明所提出的复合控制方案能有效的消除波纹管定位平台迟滞特性的影响，提高波纹管定位平台的精度。