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来源 :Advances in Manufacturing | 被引量 : 0次 | 上传用户:jiayunhe
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Manufacturing technologies for making advanced microsystems have been developing in a rapid pace recently.Research progress towards nano-sized structures and devices opens up a whole new horizon for miniaturized system integration.Advances in this field will have an enormous societal impact and economic benefit in areas such as information technology,energy,health-care,and many more.There has been an enormous scientific and industrial Manufacturing technologies for making advanced microsystems have been developing in a rapid pace recently. Research progress toward nano-sized structures and devices opens up a whole new horizon for miniaturized system integration. Advances in this field will have an enormous societal impact and economic benefit in areas such as information technology, energy, health-care, and many more.There has been an enormous scientific and industrial
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