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通过建立研磨轮和工件的相对运动数学模型,得出研磨轮在工件上的切削运动轨迹方程,由此得到超精密平面研磨中,不同结构参数研磨轮的滑移轨迹长度.引入精度系数的概念,用于评价不同结构参数研磨轮对工件的加工效果.采用微粒金刚石研磨轮对单晶硅和压电陶瓷材料进行研磨实验的结果表明,使用设计合理的研磨轮可以提高研磨的加工精度.