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【摘 要】
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动态性能测试是MEMS加速度传感器测试的重要部分.而传统单个、手动的测试方法导致了测试时间长、效率低的问题,制约了MEMS加速度传感器的市场化和产业化发展.为了解决这个问
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术国家重点实验室
【出 处】
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中北大学学报（自然科学版）
【发表日期】
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2004年期
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