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最近,以溅射镀膜法制备的日光控制玻璃在建筑和汽车上广泛使用。TiN_x和CrN_x薄膜是日光控制玻璃的典型可选材料。TiN_x薄膜具有广泛的用途,如日光控制、耐磨和装饰性镀膜,因而得到了大量的研究。相比之下,有关CrN_x薄膜的报导目前还较少。本文以直流溅射法制备了Cr和CrN_x薄膜,研究了薄膜的性质随放射气体中氮气流量比的变化。