【摘 要】
：
TFT基板四道掩膜版工艺可提升产能,但其带来的产品品质困扰着各工厂,白点不良即为四道掩膜版工艺产生.本文通过直流实验探究了白点产生的原因;采用光照实验和高温实验,研究了
【机 构】
：
武汉京东方光电科技有限公司,湖北武汉430040;北京京东方显示技术有限公司,北京100176
论文部分内容阅读
TFT基板四道掩膜版工艺可提升产能,但其带来的产品品质困扰着各工厂,白点不良即为四道掩膜版工艺产生.本文通过直流实验探究了白点产生的原因;采用光照实验和高温实验,研究了白点产生的机理,同时利用工艺调整来改善白点不良.结果表明,有源层膜质存在异常,其导电性不同导致了反冲电压(ΔVp)的差异,最佳公共电压的不同形成白点不良.栅极和源极耦合电容越小,即硅边宽度越小,白点越少,直至消失.子像素存储电容越大,钝化层厚度(PVX)由600 nm减小到400 nm,白点不良程度可减轻1个等级.通过工艺调整,将硅边宽度降低到1.2 μm,可解决四道掩膜版工艺导致的白点问题.该研究对于产品品质和收益的提升以及后续产品开发提供了有效的解决方法及参考.
其他文献
过量饮酒人会醉,这是众所周知的。醉酒的祸首是酒精。酒醉之后会致人言行失常,导致种种意外;酗酒成性、嗜酒如命者则有可能导致慢性酒精中毒,损害人体的大脑和神经系统。其实
第四节书法风格的欣赏书法欣赏的层次欣赏是对艺术创造的接受,欣赏与创造是对应的。书法艺术的创造是书法家通过点线的变化及其相互关系,创造出特殊的点线形象,散发出具有审
ChineseNationalitieswaswrittenbymorethanfortyscholarsofvarlousnationalitiesintheCentralInstituteforNationalities.Itisanewandcomprehensivestudyoftheculturesandsp
夜间灯光遥感是能够探测夜间微光的光学遥感技术,可获取白天遥感无法获取的信息。由于城市区域的人造光源是夜间稳定亮光的主要来源,夜间灯光遥感影像已被证明可以更直观地反映夜间人类活动差异,同时具有覆盖范围大、时效快和易获取等优势,可广泛应用于多尺度长时序的城市问题研究。目前,基于夜间灯光遥感数据的应用研究成果较为丰富,不少学者对夜间灯光遥感数据的数据预处理以及应用潜力等方面进行了归纳。但基于夜间灯光遥感
复制国际先进的TPA模式，远盟康健希望通过为保险公司、银行等机构的客户和大型团体用户提供第三方医疗服务，开创一个无限的市场 介绍主人公之前，先给大家介绍一个概念：TPA(Third Party Administrator，即第三方管理者)，是指第三方服务机构为保险机构提供的医疗保险、紧急意外保险计划提供风险管控服务。在发达国家的医疗保险体系里，TPA占据着十分重要的地位，这种第三方管理模式已
文章提出了一种利用过采样技术实现可预测控制的数字DC-DC转换器,该DC-DC转换器提高了动态性能,获得了快速的瞬态响应和较小的过冲电压.为提高瞬态响应速度并降低过冲,本文在
文章提出了一种新型流式细胞检测仪实现方案.将设置有微通道的微流控芯片置于CMOS图像传感器上方,利用微流控技术控制细胞液在微通道中的流动,并通过CMOS图像传感器采集流动
逐次逼近型模数转换器广泛地应用在低功耗系统中,其中数字逻辑电路、比较器和DAC电容阵列消耗了绝大部分的电路总功耗.本文设计了一种10-bit精度的逐次逼近型ADC,通过给数字
本文提出了应用于升压DC-DC转换器的基于电压和基于电流比较的衬底电位自动选择电路.这两个电路都采用了将两个比较电压差进行放大比较的方法,从而实现了两个电位之间的精确
“防微杜渐”就是要防疾病初发之微,杜疾病发展之渐,也就是防字当头。疾病的发生、发展有其一定规律,一般由轻症发展至重症,由小病发展为大病,但此规律是可以打破的,关键在于