【摘 要】
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本文介绍了准分子激光刻蚀的基本原理及特点,综述了近年来有重要意义的实验结果。
This paper introduces the basic principle and characteristics of excimer laser etch
【机 构】
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吉林大学电子科学系集成光电子学联合实验室,吉林大学电子科学系集成光电子学联合实验室 130023,130023
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本文介绍了准分子激光刻蚀的基本原理及特点,综述了近年来有重要意义的实验结果。
This paper introduces the basic principle and characteristics of excimer laser etching, summarizes the experimental results that have important significance in recent years.
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