【摘 要】
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本专利提供一种分子束外延生长方法,它可以用来生长包含化合物半导体单晶层的铟材料。在一次分子束外延生长中断时,该方法可以加速过剩的铟从生长材料的表面上蒸发掉。在此
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本专利提供一种分子束外延生长方法,它可以用来生长包含化合物半导体单晶层的铟材料。在一次分子束外延生长中断时,该方法可以加速过剩的铟从生长材料的表面上蒸发掉。在此期间,所有元素的实际供应都必须停止,至少要到衬底温度上升到一个不低于铟再蒸发起始温度的预定温度为止。
This patent provides a molecular beam epitaxial growth method that can be used to grow an indium material containing a compound semiconductor single crystal layer. In a molecular beam epitaxial growth is interrupted, the method can accelerate the excess indium evaporated from the surface of the growth material. During this time, the actual supply of all the elements must be stopped, at least until the substrate temperature rises to a predetermined temperature not lower than the indium recombination onset temperature.
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