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简要评述了国内外关于飞秒激光烧蚀半导体材料的理论研究、数值模拟和实验研究进展，报道了飞秒激光对几类光电探测器件损伤阈值的研究结果。
飞秒激光对半导体材料及器件烧蚀效应研究进展
【摘 要】
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简要评述了国内外关于飞秒激光烧蚀半导体材料的理论研究、数值模拟和实验研究进展，报道了飞秒激光对几类光电探测器件损伤阈值的研究结果。
【机 构】
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中国工程物理研究院流体物理研究所
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2009年10期
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