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微型机械具有体形超小,受热胀、噪声和挠曲等影响甚微,高速工作稳定,能耗低,惯性小,谐振频率高,响应时间短,无延迟,节约材料、成本低等特点,可用蚀刻工艺制作,适宜大批量生产。已列入国家863计划并发展到微米级。以单晶硅侵蚀技术为基础的硅整体微机械加工,和以多晶硅剥落技术的表面微机械加工,是典型的微型机械技术。克服离心力、微细噪声等是应注重解决的问题。