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阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果，结果表明，谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关，在模态的两节点的中心位置进行激励，可得到最大的振幅，而且振幅随着激励光斑偏离子中心位置而下降基节点处激励时，振幅达到最小。上述结论也适用于其它点热源激励的微机械谐振器，并为点热激激励的微机械谐振器的设计和制作提供了依据。