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报道了几种不同的p型ZnO薄膜的制备工艺对其薄膜微观结构的影响.结果表明:ZnO薄膜的结晶度、C轴取向程度、内应力均与制备工艺条件有密切的关系,并对这些关系的机理做了分析和探讨.
p-ZnO薄膜的制备及其微结构测试与分析
【摘 要】
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报道了几种不同的p型ZnO薄膜的制备工艺对其薄膜微观结构的影响.结果表明:ZnO薄膜的结晶度、C轴取向程度、内应力均与制备工艺条件有密切的关系,并对这些关系的机理做了分析
【机 构】
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五邑大学,薄膜与纳米材料研究所,广东,江门,529020五邑大学,数理系,广东,江门,529020;五邑大学信息学院,广东,江门,529020;五邑大学,机电系,广东,江门,529020;
【出 处】
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五邑大学学报（自然科学版）
【发表日期】
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2008年3期
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