Fabrication　and　Thickness　Measurment　of　the　Thin　Films　Deposited　by　Planar　Magnetron　Sputtering

来源 :Chinese Journal of Lasers | 被引量 : 0次 | 上传用户：ponny2006

【摘要】

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ＦａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｎｄＴｈｉｃｋｎｅｓｓＭｅａｓｕｒｍｅｎｔｏｆｔｈｅＴｈｉｎＦｉｌｍｓＤｅｐｏｓｉｔｅｄｂｙＰｌａｎａｒＭａｇｎｅｔｒｏｎＳｐｕｔｔｅｒｉｎｇ￥ＳＨＡＯＪｉａｎ－ｄａ；ＦＡＮＺｈｅｎｇ－ｘｉｕ；ＹＩＫｕｉ；ＹＩＮＧｏｎｇ－ｊｉ... Fabrication and Thickenness Measurement of the Thin Films Deposited by Planar Marcintron Sputtering ¥ SHAOJian-da; FANZheng-x

【出处】

：

Chinese Journal of Lasers

【发表日期】

：

1994年01期

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