【摘 要】
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本文研究了不同掺杂浓度下多晶硅薄膜的迁移率、应变系数等电学参数与温度的关系。通过霍尔迁移率的测试,给出了硼掺杂多晶硅薄膜电阻在25～150℃温度下的电阻率、霍尔迁移率、
【机 构】
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大连理工大学电子系,大连理工大学电子系,大连理工大学电子系 辽宁省大连市 116024,辽宁省大连市 116024,辽宁省大连市 116024教授
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本文研究了不同掺杂浓度下多晶硅薄膜的迁移率、应变系数等电学参数与温度的关系。通过霍尔迁移率的测试,给出了硼掺杂多晶硅薄膜电阻在25～150℃温度下的电阻率、霍尔迁移率、应变系数的温度特性,从理论上分析它们的变化规律。
In this paper, the relationship between the electrical parameters such as the mobility and strain coefficient of polycrystalline silicon thin films under different doping concentrations and temperature is studied. Through the test of Hall mobility, the temperature characteristics of resistivity, Hall mobility and strain coefficient of boron-doped polycrystalline silicon thin film at 25-150 ℃ are given, and their variations are theoretically analyzed.
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