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可见光范围镀铝反射率的研究
可见光范围镀铝反射率的研究
来源 :长春理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:finallove
【摘 要】
:
介绍在可见光范围内,在玻璃基底上制备铝膜,保护膜采用高反介质膜堆。采用离子辅助手段,使其反射率在450nm~750nm波长范围内提高到95%左右。同时讨论了膜料的选择、膜系的设计
【作 者】
:
王禹皓
李春
付秀华
常艳贺
李珊
【机 构】
:
长春理工大学光电工程学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
:
长春理工大学学报
【发表日期】
:
2009年1期
【关键词】
:
镀铝
介质膜
离子辅助
coating aluminum film
dielectric film
ion assisted deposition (IAD
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介绍在可见光范围内,在玻璃基底上制备铝膜,保护膜采用高反介质膜堆。采用离子辅助手段,使其反射率在450nm~750nm波长范围内提高到95%左右。同时讨论了膜料的选择、膜系的设计、工艺参数的优化及基片清洗等问题。
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