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采用溶胶-凝胶法在单晶硅Si（100）衬底上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度对ZnO结构和光学性能的影响。实验发现,退火可以明显地改善ZnO薄膜的结构和光学性能。随着退火温度的升高,ZnO薄膜的晶粒增大,同时在室温下观察到明显的紫外发光现象,其紫外PL谱峰值变强,并有红移现象。
退火条件对ZnO薄膜结构和光学性能的影响
【摘 要】
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采用溶胶-凝胶法在单晶硅Si（100）衬底上制备了ZnO薄膜,研究了退火温度对ZnO结构和光学性能的影响。实验发现,退火可以明显地改善ZnO薄膜的结构和光学性能。随着退火温度的升高,
【机 构】
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江苏工业学院功能材料实验室
【出 处】
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江苏工业学院学报
【发表日期】
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2007年2期
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