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【摘 要】
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In this work,a monolithic oscillator chip is heterogeneously integrated by a film bulk acoustic resonator(FBAR)and a complementary metal-oxide-semiconductor(CMO
【机 构】
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StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnologyandInstruments
【出 处】
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纳米技术与精密工程(英文)
【发表日期】
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2019年3期
【基金项目】
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supported by National High Technology Research and Development Program of China(863 Program)under Grant No.2015AA042603,the 111 Project under Grant No.B07014,Nanchang Institute for Microtechnology of
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