【摘 要】
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半导体工艺中的激光化学微加工技术,是国外近年来研究颇为活跃的领域,具有广泛的前景.本文对激光化学微加工技术应用于半导体工艺中的腐蚀、掺杂、化学汽相淀积及调整半导体
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半导体工艺中的激光化学微加工技术,是国外近年来研究颇为活跃的领域,具有广泛的前景.本文对激光化学微加工技术应用于半导体工艺中的腐蚀、掺杂、化学汽相淀积及调整半导体器件电参数等方面的原理、特性及今后的应用前景作了综合评述.
Laser chemical micromachining technology in semiconductor technology is a very active field in foreign countries in recent years, with a wide range of prospects.In this paper, the application of laser chemical micromachining technology in the semiconductor process of corrosion, doping, chemical vapor deposition and Adjust the electrical parameters of semiconductor devices and other aspects of the principles, characteristics and future prospects for a comprehensive review.
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