【摘 要】
：
本文从X射线光刻自动对准特点出发,探讨采用圆形菲涅尔波带片做为标记,以激光做相干光源的电视对准原理。重点讨论其中光学系统工程问题,如总体考虑、精度分析、能量计算和均
【机 构】
：
中国科学院光电技术研究所 成都,610209
论文部分内容阅读
本文从X射线光刻自动对准特点出发,探讨采用圆形菲涅尔波带片做为标记,以激光做相干光源的电视对准原理。重点讨论其中光学系统工程问题,如总体考虑、精度分析、能量计算和均化、激光偏振态的传输和控制、激光背景噪音的抑制等。
Based on the characteristics of X-ray lithography automatic alignment, this paper discusses the principle of television alignment using circular Fresnel zone plate as a marker and laser as coherent light source. Focusing on the optical system engineering issues such as overall consideration, accuracy analysis, energy calculation and homogenization, laser polarization transmission and control, laser background noise suppression.
其他文献
2型糖尿病在全球范围内具有患病率高、血糖控制效果差、并发症多等特点,在我国尤为突出。短期胰岛素强化治疗作为一种对新诊断2型糖尿病患者有效治疗手段不仅可以迅速解除糖
室温硫化硅橡胶(RTV)防污闪涂料是提高输变电设备外绝缘性能的有效技术手段之一。现场喷涂主要采用人工喷涂方式,操作工人的喷涂经验、喷涂工艺直接影响到RTV后期运行性能。
江泽民同志在江苏、浙江、上海考察工作时强调,要按照“三个代表”的要求加强党的建设。江泽民指出,始终代表中国先进生产力的发展要求,中国先进文化的前进方向,中国最广大人
本文旨在分析目前机电工程在交通运输的应用概况,如何强化机电工程施工过程中对遇到的实际问题检测和预防手段,提升交通运输的整体质量,为交通行业发展提供保障。
位于国家级生态示范区的省级森林公园——丽水白云森林公园．是一个林木葱郁、绿意浓浓、溪流清澈、水流相连、风景秀丽的城市森林公园，地处东经119°52’～119°58’，北纬
随着素质教育不断发展深化,一种将“教学”和“旅行”结合起来的新型教育模式——研学旅行顺势而生。研学旅行是指以达到一定的学习目标为目的而进行的研究性旅行。为使研学
<正> 本文结合国内代建制的试点经验,论述实施代建制的意义和作用,展望我国委托代建市场的发展趋势和商机,探讨如何打造具有竞争力的工程项目代建企业。"代建制"是对我国政府
<正>日前,省委、省政府批复杭州市、嘉兴市和湖州长兴县、绍兴新昌县(下称"两市两县")全面创新改革试验实施方案。政府再次发挥推动者、监督者、设计者的作用,为四地全面创新
高桥石化有限公司在档案管理信息系统项目建设实施和系统应用管理的过程中，结合公司档案管理工作的实际情况，采取了行之有效的措施，对系统应用进行规范管理，强化档案业务培训和指
一般资料性别:男17例,女5例。年龄:“～19”龄组1例;“～29”龄组10例;“～39龄组7例;“～49”龄组2例;“～59”龄组2例取背部俞穴为主,仿偶刺法,配用电针中强刺激,久留针(30～45分钟)。