【摘 要】
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1.前言激光OVD(激光化学汽相淀积),作为“支撑半导体产业的一种激光技术,其地位尚未确立。但是由于该法具有图案制作高速化特点,例如作为开发大规模集成电路的一种手段,将不
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1.前言激光OVD(激光化学汽相淀积),作为“支撑半导体产业的一种激光技术,其地位尚未确立。但是由于该法具有图案制作高速化特点,例如作为开发大规模集成电路的一种手段,将不断开拓新的市场,因而其实用研究确已开始。本文介绍有关的实用化研究结果。
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