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期刊论文
负压检测传感器研制
负压检测传感器研制
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:linyi870821
【摘 要】
:
本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0~-50ka硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。此系统通过形成的负压环境,加快创伤愈合。测试结果表明这种结构的
【作 者】
:
张莹
杨梅
陶瑛
【机 构】
:
中国空气动力研究与发展中心
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2010年5期
【关键词】
:
压阻式
压力传感器
封装工艺
piezo-resistive
pressure sensor
packaging technology
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本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0~-50ka硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。此系统通过形成的负压环境,加快创伤愈合。测试结果表明这种结构的传感器具有较高的灵敏度和较高的精度,性能稳定可靠,便于携带,并可利用微机械加工技术买现低成本批量生产。
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