负压检测传感器研制

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本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0~-50ka硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。此系统通过形成的负压环境,加快创伤愈合。测试结果表明这种结构的传感器具有较高的灵敏度和较高的精度,性能稳定可靠,便于携带,并可利用微机械加工技术买现低成本批量生产。
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