光照对金刚石薄膜压阻效应的影响

• 作 者: 王万录 廖克俊 张振刚 吴彬
• 机 构: 兰州大学物理系
• 出 处: 甘肃科学学报
• 发表日期: 1997年01期
• 关键词: 压阻效应 金刚石薄膜 金刚石膜 大学物理 物理系教授 材料物理 兰州铁道学院 硕士研究生 吴彬 廖克

分析研究ＣＶＤ方法制备的多晶金刚石薄膜的压阻效应，结果表明光照对金刚石膜的压阻效应有显著的影响，并对所得结果进行了讨论

The piezoresistive effect of polycrystalline diamond films prepared by CVD method is analyzed. The results show that the light has a significant effect on the piezoresistive effect of diamond films, and the results obtained are discussed