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采用高分辨X射线衍射的方法，研究了Hg1-χCdχTe液相外延材料的X射线衍射摇摆曲线和晶格常数随外延层厚度的变化关系、实验观察到了组分互扩散效应对摇摆曲线和材料晶格常数的影响．衬底与外延层之间的互扩散区约为2～3／μm，在此区域，摇摆曲线半峰宽变窄，表明从衬底扩散来的Zn元素降低了界面处的位错密度、通过测量晶格常数随厚度的变化，得到了Cd组分的纵向分布，表面组分低，越靠近衬底组分越高，组分分布呈非线性变化，符合指数衰减关系．