基于SOI光波导的损耗测试与优化

• 作 者: 崔丹凤 谢成峰 晋玉剑 刘耀英 李艳娜 韦丽萍 王永华 刘俊
• 机 构: 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术重点实验室
• 出 处: 测试技术学报
• 发表日期: 2014年3期
• 关键词: 光波导 传输损耗 弯曲损耗 光栅 垂直耦合 optical waveguide transmission loss bending loss optical g
• 基金项目: 国家自然科学基金重点支持资助项目（No.91123036）,国家自然科学基金杰出青年基金资助项目（No.51225504）

利用电子束光刻技术,制备了带有氧化硅包层的SOI光波导结构,对其传输模态及损耗进行了详细的理论分析,并分别对波导的传输损耗和耦合损耗进行了测试.测试结果验证了单模传输模态时的传输损耗较低,在波导层上添加覆盖层可以将波导传输损耗降低至3.96dB/cm,利用光栅垂直耦合可以大大降低光纤-波导的耦合损耗,耦合效率可以达到32.7%.