用PLD法在MgO（100）衬底十生长ZnO薄膜的结构和光学特性

• 作 者: 苏凤莲 汪洪 李爱侠 刘艳关 周圣明
• 机 构: 安徽大学物理与材料科学学院,中国科学院上海光学精密机械研究所
• 出 处: 安徽大学学报：自然科学版
• 发表日期: 2006年2期
• 关键词: ZNO薄膜 脉冲激光沉积 x射线衍射 光致发光谱 ZnO thin film PLD XRD photoluminescence
• 基金项目: 安徽省优秀青年基金资助项目（00047208）,高等学校安徽省学术技术带头人科研资助项日

用脉冲激光沉积法在MgO（100）衬底上沉积了ZnO薄膜．衬底温度分别为400℃、550℃和700℃．利用X射线衍射（XRD）和光致发光谱（PL）对薄膜的结构和光学性能进行研究．x射线衍射的结果表明，在400℃和550℃下生长的ZnO薄膜具有高度c一轴择优取向．仉足当衬底温度升高到700℃时，薄膜由单一的择优取向变为有两个较强的择优取向．通过光致发光谱可以发现，在550℃下生长的ZnO薄膜具有强的紫外发射和窄的FWHM，并且紫外发光峰的强度与ZnO薄膜的结晶质量密切相关．